应用与常识
| 1,什么是掩膜版? | 掩膜版来自于英文Mask,IC行业称Reticle,中文称呼还有光罩,光掩膜,光刻掩膜版,掩膜板或掩模板等。 掩模版作为图形信息的载体,主要分两个组成部分,基板和不透光材料。通过曝光过程将图形转移到被曝光产品表面(硅片,导电玻璃,铜箔等材料),从而实现图形的转移。 常见的光掩膜版有三种:铬版(chrome)、干版,菲林。 铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层,应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造,菲林通常用于大面积精度较低的场合使用。 |
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| 2,掩膜版使用于哪些领域? | 中低档半导体IC制造,大功率晶体管,放电管,可控硅。 显微镜,光学分划版,分度线,标尺线,瞄准线,编码光栅。 传感器,声表器件,微波器件,微波天线,微机械加工/微尺寸检测。 光波导与相关产品,平面电感,电容。 自动化:汽车电子,起重机称重传感器。 消费行业:冰箱制造(制冷器),电视机IC电路,应变片,等。 |
| 3,制版常用的图形格式? | dwg/dxf,exb,cdr/ai,tdb,CIF,GDSII等矢量格式 或根据客户设计意图提供CAD设计服务或全套流程工艺。 |
